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ULVAC愛發(fā)科HR300 多級羅茨干式真空泵 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質以 氣態(tài)排出。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 HR90 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質以 氣態(tài)排出。

ULVAC愛發(fā)科HR60多級羅茨干式真空泵 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質以 氣態(tài)排出。

ULVAC愛發(fā)科螺桿式干式真空泵 LS1200A-L “Model：LS” 是被歸類為螺桿式干式真空泵的真空泵。 過去，提高抽速需要消耗大量功率，但通過將專有的螺桿形狀與節(jié)能技術相結合，這款干式真空泵實現(xiàn)了高速排氣和低功耗。 有四種型號的陣容，您可以根據(jù)設備的大小、使用條件和用途選擇具有最佳泵送能力的泵。

ULVAC愛發(fā)科螺桿式干式真空泵LS600A-C “Model：LS” 是被歸類為螺桿式干式真空泵的真空泵。 過去，提高抽速需要消耗大量功率，但通過將專有的螺桿形狀與節(jié)能技術相結合，這款干式真空泵實現(xiàn)了高速排氣和低功耗。 有四種型號的陣容，您可以根據(jù)設備的大小、使用條件和用途選擇具有最佳泵送能力的泵。

ULVAC愛發(fā)科LS600A-L螺桿式干式真空泵 “Model：LS” 是被歸類為螺桿式干式真空泵的真空泵。 過去，提高抽速需要消耗大量功率，但通過將專有的螺桿形狀與節(jié)能技術相結合，這款干式真空泵實現(xiàn)了高速排氣和低功耗。 有四種型號的陣容，您可以根據(jù)設備的大小、使用條件和用途選擇具有最佳泵送能力的泵。